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对于半导体测量而言，虽然在批量生产、实验室、晶圆等环节都需要用到，相关环节也比较复杂，但是电性能测试则是基本的环节。任何半导体器件或模组，在研发、设计及生产过程中，都免不了这一环节。
在电性能测试环节，目前先进的测试方案就是源测量单元(SMU)。SMU是一种精密电源仪器，具备电压输出和测量以及电流输出和测量功能。这种对电压和电流的控制使您可以灵活地通过欧姆定律计算电阻和功率。可同时控制与量测高精度电压、电流，专为消费性电子产品、IC设计与验证、生医、学术研究等实验室提供电性能测试。
目前，市场上能够提供源测量单元(SMU)厂商也不少，相关产品也有很多。然而，并不是测试仪器越昂贵，测试准确性就越高。想要真正意义上掌握源测量单元(SMU)，必须首先清楚误差产生的原因，以及减小误差的有效途径。
半导体测量的专业领域包括：
通过使用偏振光进行椭圆光度测定来完成薄膜分析。
独特且易于操作的蓝光，紫外光单模半导体激光器用于灵活实现微光刻处理。
利用远红外半导体激光快速调制扫描分子吸收频谱可以远程测量密闭环境下的氧气，氢气等气体。
通过分析高亮度二极管激光光束散射光，可探测粒子。
利用单模半导体激光可利用干涉原理对晶圆步进器中掩模提供较高精度校准。
利用高度相干的连续波紫外半导体激光器检测昂贵的光刻光学器件。
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关键词：关节臂测量仪,半导体测量,GOM三维扫描仪
