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了解了解半导体测量的分类介绍

2022-01-18 14:33:04

半导体测量的分类:按照所测定的特性,这一类半导体测量可分为四个方面。

(1)几何尺寸与表面形貌的检测:如半导体晶片、外延层、介质膜、金属膜,以及多晶硅膜等的厚度,杂质扩散层和离子注入层以及腐蚀沟槽等的深度,晶体管的基区宽度,半导体晶片的直径、平整度、光洁度、表面污染、伤痕等,刻蚀图形的线条长、宽、直径间距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑等。

(2)成分结构分析:如衬底、外延层、扩散层和离子注入层的掺杂浓度及其纵向和平面的分布、原始晶片中缺陷的形态、密度和分布,单晶硅中的氧、碳以及各重金属的含量,在经过各工艺步骤前后半导体内的缺陷和杂质的分布演变,介质膜的基本成分、含杂量和分布、致密度、针孔密度和分布、金属膜的成分,各步工艺前后的表面吸附和沾污等。

(3)电学特性:如衬底材料的导电类型、电阻率(包括平面分布和一批晶片之间的离散度)、少数载流子寿命、扩散或离子注入层的导电类型与薄层电阻、介质层的击穿电压、金属-氧化物-半导体结构的电容特性、氧化层中的电荷和界面态、金属膜的薄层电阻、通过氧化层台阶的金属条电阻、金属-半导体接触特性和欧姆接触电阻、金属-氧化物-半导体晶体管特性等。

(4)装配和封装的工艺检测:如键合强度和密封性能及其失效率等。


如何进行半导体测量?

对于半导体测量而言,虽然在批量生产、实验室、晶圆等环节都需要用到,相关环节也比较复杂,但是电性能测试则是Z为基本的环节。任何半导体器件或模组,在研发、设计及生产过程中,都免不了这一环节。

在电性能测试环节,目前先进的测试方案就是源测量单元(SMU)。SMU是一种精密电源仪器,具备电压输出和测量以及电流输出和测量功能。这种对电压和电流的控制使您可以灵活地通过欧姆定律计算电阻和功率。可同时控制与量测高精度电压、电流,专为消费性电子产品、IC设计与验证、生医、学术研究等实验室提供电性能测试。

目前,市场上能够提供源测量单元(SMU)厂商也不少,相关产品也有很多。然而,并不是测试仪器越昂贵,测试准确性就越高。想要真正意义上掌握源测量单元(SMU),首先要清楚误差产生的原因,以及减小误差的有.效途径。


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