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Equator比对仪通过向车间提供高重复性、对热效应不灵敏、多用途并且可重新编程的比对测量方案,实现制造过程控制。车间用比对测量为控制车间的制造过程,半导体测量,数十年来工程师一直在使用量具,如卡尺、通过/不通过量规或孔径规等。随着制造水平
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全新Equator™500比对仪—实现大型工件的智能化制程控制,兼具成熟可靠的Equator300比对仪优点全新Equator500比对仪尺寸更大,其工作空间的直径可达500mm,高度可达400mm,因此可测量更大的工件。在5