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粗糙度和轮廓的精度，260 mm测量路径
Mahr马尔 计量的先进技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。
MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在设备经验的基础上，又经过系统化的设计。
各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。
亚纳米级分辨率和残余噪声 <20 nm Rz 只是一些基本要求。
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关键词：关节臂测量仪,半导体测量,GOM三维扫描仪
